美國SONIX超聲波顯微鏡 ECHO LS™

簡要描述：SONIX公司是世界 500 強丹納赫集團（NYSE:DHR）下的全資子公司，是超聲波掃描檢測儀和無損檢測設備的領x制造商。自 1986 年成立以來， SONIX在無損檢測領域中不斷改革創新，是*家基于微機平臺，提供全數字化成像方案的公司。 SONIX 一直致力與技術革新，提供給客戶領x的聲學檢測技術。 SONIX設備被廣泛應用于各種材料的無損檢測, 包括半導體，汽車零件和其他先進元件。

產品型號：ECHO LS™
廠商性質：代理商
更新時間：2020-11-26
訪問量：1889

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產品簡介

超聲波掃描顯微鏡被廣泛應用于半導體以及集成電路的制造和封裝測試行業，是一種理想的無損檢測儀器，能夠有效地檢測器件或材料內部的開裂、氣泡、雜質、斷層等缺陷。
其主要工作原理是，通過壓電陶瓷將電信號轉換成超聲波（>20KHz），用超聲波對樣品內部進行高精度地掃描，根據超聲波在不同密度材料中的傳播速度和反射系數的差異，獲得樣品內部不同區域的超聲波透射或反射，再經由軟件算法處理和成像。SAM的核心構成為，電氣部件、機械裝置、聲學部件、軟件系統。

產品特點
SONIX Echo-LS 能檢測到小至 0.05um 的缺陷，而且對于 bump、疊 die(3D 封裝)、倒裝芯片及各種傳統的塑料封裝等具有的檢測性能。提高生產效率和產量，使用 ECHO 的設備和軟件

容易的設置和使用
工藝過程監測
合格/失效分選
專業認證

SONIX 掃描探頭頻率范圍從 10MHz 到 300MHz,適合各種類型的應用和材料。

其它關鍵特點：

減少實驗室空間（占地面積?。?/li>
鍵盤快捷鍵（方便移動操作）
全焊接機身框架（促進平臺穩定性）
降低水槽高度（人體工程學設計）
可同時進行反射掃描和透射掃描
大 360 度可視
超大掃描面積
水槽底部傾斜（易于排干水）
探頭隨 Z 軸移動（取代托盤上下移動）
可滑動支架
符合歐洲機械指令
緊湊、穩定的結構設計（低維護）
符合 CE,SEMI S2,NRTL
可滑動的電氣面板（方便維護）
防靜電涂層（安全罩、水槽、門等）

技術參數：
機臺尺寸	79cm9cm22cm	步進軸（Y）	定位裝置：低電磁干擾導軌式步進馬達
掃描軸（X）	定位裝置：線性伺服馬達		分辨率：0.25um
	大速度：1000mm/sec		大掃描區域：350mm
	重復精度：+/-0.5um	聚焦軸（Z）	定位裝置：低電磁干擾導軌式步進馬達
	編碼器分辨率：0.5um		分辨率：0.25um
	大掃描區域：350mm		大行程：50mm
夾具	JEDEC標準尺寸托盤夾具	脈沖發生器	DPR500 接收器配置L2/H4脈沖發生器
	掃描平臺可固定特有的托盤夾具	脈沖發生器	可選U4超高頻脈沖發生器
	透射桿探頭固定	流體系統	循環泵和5um過濾器
注：ECHO LS是目前國內使用廣泛的一款型號